
01 / SEMICONDUCTOR
반도체 장비 부품
식각·증착·세정 장비의 진공 챔버, 가스 매니폴드, 웨이퍼 이송 부품. 리크·파티클 관리가 필요한 부품을 클린 세정·이중 포장까지 마쳐 납품합니다.
- 주요 재질
- A6061-T6, STS316L, PEEK
- 요구 공차
- ±0.01 mm, 평면도 0.005
- 주요 검사
- CMM, 헬륨 리크, 내시경
- 납품 형태
- 클린 세정 · 이중 진공 포장
관련 제품: 진공 챔버 블록 · 가스 매니폴드 블록 · 웨이퍼 이송 엔드이펙터
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