HG-SC-103 · 반도체 장비
웨이퍼 이송 엔드이펙터
ESD PEEK / A6061-T6 · ±0.02 mm · 1 – 100 EA
HG-SC-103
웨이퍼 이송 엔드이펙터
300 mm 웨이퍼 이송 로봇용 엔드이펙터. 얇고 긴 형상의 휨을 억제하기 위해 황삭 후 응력 안정화 공정을 거쳐 정삭합니다.
- 재질
- ESD
- 공차
- ±0.02 mm
- 납기
- 2 – 3주
- 진공 흡착 홀 위치 ±0.02 mm
- 표면저항 10⁶ – 10⁹ Ω 소재 사용
- 세라믹 패드 조립 후 납품 가능
[SPEC] Specifications
상세 사양
아래 사양은 대표 납품 사례 기준입니다. 고객 도면의 공차·재질·표면처리 조건에 맞춰 공정을 다시 설계합니다.
| 제품 코드 | HG-SC-103 |
|---|---|
| 적용 산업 | 반도체 장비 |
| 재질 | ESD PEEK / A6061-T6 |
| 가공 공차 | ±0.02 mm |
| 기하 공차 · 조도 | 평탄도 0.03 mm / 두께 3.0 ±0.02 mm |
| 가공 크기 | 300 mm 웨이퍼용, 길이 최대 420 mm |
| 표면처리 · 후처리 | 정전기 방지 소재, 무광 블라스트 |
| 주문 수량 | 1 – 100 EA |
| 표준 납기 | 2 – 3주 |
| 제출 서류 | CMM 측정 성적서, 소재 성적서(Mill Cert), 표면처리 성적서 |
가공 공정
- 소재 어닐링
- 황삭
- 응력 안정화(48h)
- 정삭
- 평탄도 측정
- 진공 포장
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- 납기
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- ±0.02 mm
- 납기
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