HG-SC-102 · 반도체 장비
가스 매니폴드 블록
STS316L (VIM-VAR 대응) · ±0.01 mm · 5 – 500 EA
HG-SC-102
가스 매니폴드 블록
공정 가스를 분배하는 SUS316L 매니폴드. 교차 심공 가공과 내부 버 제거, 전해연마까지 사내에서 처리해 파티클 리스크를 낮췄습니다.
- 재질
- STS316L
- 공차
- ±0.01 mm
- 납기
- 3주
- 최대 L/D 30 심공 가공
- 모든 교차부 내시경 검사 기록 제공
- Class 100 세정 포장 옵션
[SPEC] Specifications
상세 사양
아래 사양은 대표 납품 사례 기준입니다. 고객 도면의 공차·재질·표면처리 조건에 맞춰 공정을 다시 설계합니다.
| 제품 코드 | HG-SC-102 |
|---|---|
| 적용 산업 | 반도체 장비 |
| 재질 | STS316L (VIM-VAR 대응) |
| 가공 공차 | ±0.01 mm |
| 기하 공차 · 조도 | 유로 교차 위치 ±0.02 mm / 내면 Ra 0.25 μm |
| 가공 크기 | 150 × 80 × 60 – 400 × 200 × 120 mm |
| 표면처리 · 후처리 | 전해연마(EP), 부동태 처리 |
| 주문 수량 | 5 – 500 EA |
| 표준 납기 | 3주 |
| 제출 서류 | CMM 측정 성적서, 소재 성적서(Mill Cert), 표면처리 성적서 |
가공 공정
- 소재 성적서 확인
- 5축 가공·심공 드릴
- 내부 버 제거
- 전해연마
- 내시경·CMM 검사
- 클린룸 이중 포장
관련 제품
전체 제품 보기반도체 장비
HG-SC-101
진공 챔버 블록
반도체 식각·증착 장비의 공정 챔버 본체. 대형 알루미늄 블록을 5축으로 일괄 가공해 셋업 오차를 줄이고, 헬륨 리크 테스트까지 마친…
- 재질
- A6061-T6
- 공차
- ±0.01 mm
- 납기
- 3 – 4주
반도체 장비
HG-SC-103
웨이퍼 이송 엔드이펙터
300 mm 웨이퍼 이송 로봇용 엔드이펙터. 얇고 긴 형상의 휨을 억제하기 위해 황삭 후 응력 안정화 공정을 거쳐 정삭합니다.
- 재질
- ESD PEEK / A6061-T6
- 공차
- ±0.02 mm
- 납기
- 2 – 3주
자동차 시제품
HG-AT-303
조향 장치 브래킷 시제품
조향 장치 마운팅 브래킷 시제품. 양산 프레스 부품과 동일한 체결 조건을 재현하도록 홀 위치와 기준면을 정밀 가공합니다.
- 재질
- STS304 / STS630(17-4PH)
- 공차
- ±0.02 mm
- 납기
- 10 영업일
도면만 보내주세요.
24시간 안에 회신드립니다.
PDF·STEP·DWG 어떤 형식이든 좋습니다. 시제품 1개부터 월 양산 물량까지 상담합니다.